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產(chǎn)品中心MDP單晶和多晶硅片壽命測量儀(MDPmap)
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MDPmap單晶和多晶硅片壽命測量儀被設(shè)計(jì)成一個緊湊的臺式非接觸電學(xué)表征工具，用于離線生產(chǎn)控制或研發(fā)，在穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵（μ-PCD）下，在一個寬的注入范圍內(nèi)測量參數(shù)，如載流子壽命、光導(dǎo)率、電阻率和缺陷信息。自動化的樣品識別和參數(shù)設(shè)置允許輕松適應(yīng)各種不同的樣品，包括外延層和經(jīng)過不同制備階段的晶圓，從原生晶圓到高達(dá)95%的金屬化晶圓。
更新時間：2024-07-11
產(chǎn)品型號：MDPmap-1
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